半導體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為 “清潔”產(chǎn)業(yè),，但事實上,，半導體生產(chǎn)過 程中使用了大量有機和無機物，包括許多有毒有害物質(zhì),，對環(huán)境危害較為嚴重,，如不加以控制,，將會產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
一些半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)達的國家和地區(qū),，如美國,、德國和臺灣等，都針對半導體行業(yè)制訂了相應(yīng)的排放標準,。
上海早于2006年就頒 布了《半導體行業(yè)污染物排放標準》（DB31/ 374-2006）,，對于督促企業(yè)采用國際先進生產(chǎn) 技術(shù)和治理措施，推行清潔生產(chǎn)技術(shù),，提高污染控制水平，起到了積極作用,。 旁邊的江蘇省環(huán)境保護廳于 2015 年正式下達了《江蘇省半導體行業(yè)污染物排放標準》制定任務(wù),，目前正在征求意見中。
半導體行業(yè)中使用的清洗劑,、顯影劑,、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分,。 在工藝過程中,，這些有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。目前,，針對這種氣體排放,，一 般采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法,。 吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體,，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體 表面上，達到分離的目的,。吸附劑選擇性高,，能分開其他過程難以分開的混合物，有效地清 除（或回收）濃度很低的有害物質(zhì),，凈化效率高,，設(shè)備簡單,，操作方便，且能實現(xiàn)自動控制,。?
但固體吸附劑的吸附容量小,，需要大量的吸附劑，設(shè)備龐大,，且吸附后吸附劑需要再生處理,，是吸附處理的主要缺點。半導體生產(chǎn)場所揮發(fā)出來的有機廢氣通過局部排風罩收集,，經(jīng)管道送至吸附凈化系統(tǒng),。一般采用活性炭作為吸附劑。因為活性炭是非極性吸附劑,，對廢氣中水蒸氣的靈敏度不高,，且價格便宜。 焚燒的方法也廣泛用于半導體行業(yè)處理各種有機廢氣,，通過熱氧化將有機物轉(zhuǎn)化為 CO2 和水,。同時，焚燒對處理穩(wěn)定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法,。在熱氧化中,，有機廢氣流經(jīng)過加熱，氣相中的有機物被氧化,。為節(jié)省燃料使用,，通常還使用熱交換器，回收焚燒產(chǎn)生的熱量對進口氣體進行預(yù)熱,。對于處理大流量,、低濃度的氣體，通常都要采用這種方法,。 由于半導體行業(yè)廢氣焚燒會產(chǎn)生SiO2,，且SiO2會使催化劑鈍化，因此半導體行業(yè)中很少采用接觸氧化的方法,。
一些半導體生產(chǎn)廠也使用旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)富集有機廢氣,，如沸石濃縮轉(zhuǎn)輪。因為半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于 11039 m3 /小時）和濃度低（通常小于 25ppmv） 的特點,，使用其它的處理技術(shù)難以達到令人滿意的處理效率,。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪使用內(nèi)帶吸收物質(zhì)的旋轉(zhuǎn)輪，其中的吸收物質(zhì)部分曝露于廢氣流中,。轉(zhuǎn)輪吸收廢氣中的揮發(fā)性污染物,，并使用蒸汽或熱將其脫附。脫附的氣流中富集了較高濃度的揮發(fā)物,，這種低流量,、高濃度的氣流能很好地被氧化,。旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)用于半導體行業(yè)的一個缺點是它對甲醇親和力較差，去除率僅為 40-60％,。
總而言之,，廢氣治理方面，半導體行業(yè)酸,、堿廢氣一般采用相應(yīng)的堿液吸收和酸液吸收進行處理,，工藝方法已非常成熟，只要適當優(yōu)化相關(guān)工藝參數(shù),，能夠滿足本標準的要求,，需要關(guān)注的有機廢氣的處理。目前處理有機廢氣的工藝有吸附法,、吸收法,、直接燃燒法、催化燃燒法,、冷凝法等,，吸附法采用活性炭直接吸附，凈化效果好,，但是運營成本會很高,；吸收法適合于溫度低、中高濃度的廢氣,；直接燃燒法適合于高濃度,、小風量廢氣治理；冷凝法適用于成分相對單一,、濃度高,、且有一定回收價值的有機廢氣,。對于半導體行業(yè)低濃度,、大風量、成分復雜的有機廢氣,，吸附法,、吸收法、燃燒法,、冷凝法均不適用,，比較適用的是吸附——催化燃燒法。目前省內(nèi)一些大型半導體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪濃縮后燃燒,，該方法適用于大風量,、低濃度、常溫的有機廢氣處理,，凈化效率達到90％以上,，濃縮比達20﹕1,，運行費用較低，設(shè)備處理風量大,，占地面積小,，不產(chǎn)生二次污染，可持續(xù)脫附并處理污染物,。根據(jù)企業(yè)實際運行情況,，有機廢氣進氣濃度在200mg/m3以上時，處理效率達到95%,；200mg/m3以下時處理 后濃度控制在20mg/m3,，可保證廢氣達標排放。
內(nèi)容參考江蘇省生態(tài)環(huán)境廳相關(guān)文件