亚洲日韩色在线高淯v_911亚洲精选麻豆_综合亚洲欧美日韩二区_亚洲精品一级片,美女自卫黄色视频,久久黄片视频观看,成年人免费网站视频,国产AV无码专区亚洲蜜芽,亚洲中文无码天然素人久久,特黄A级毛片,欧美人禽杂交狂配在线观看视频

半導(dǎo)體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為 “清潔”產(chǎn)業(yè),,但事實(shí)上,,半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò) 程中使用了大量有機(jī)和無(wú)機(jī)物,包括許多有毒有害物質(zhì),,對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重,,如不加以控制,將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染,。

一些半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)達(dá)的國(guó)家和地區(qū),,如美國(guó)、德國(guó)和臺(tái)灣等,,都針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)制訂了相應(yīng)的排放標(biāo)準(zhǔn),。

上海早于2006年就頒 布了《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB31/ 374-2006),,對(duì)于督促企業(yè)采用國(guó)際先進(jìn)生產(chǎn) 技術(shù)和治理措施,推行清潔生產(chǎn)技術(shù),,提高污染控制水平,,起到了積極作用。 旁邊的江蘇省環(huán)境保護(hù)廳于 2015 年正式下達(dá)了《江蘇省半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》制定任務(wù),,目前正在征求意見中,。

半導(dǎo)體行業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑,、光刻膠,、蝕刻液等溶劑中含有大量有機(jī)物成分。 在工藝過(guò)程中,,這些有機(jī)溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放,。目前,針對(duì)這種氣體排放,,一 般采用吸附,、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。 吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體,,使其中所含的一種或多種組分吸附于固體 表面上,,達(dá)到分離的目的。吸附劑選擇性高,,能分開其他過(guò)程難以分開的混合物,,有效地清 除(或回收)濃度很低的有害物質(zhì),凈化效率高,,設(shè)備簡(jiǎn)單,,操作方便,且能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制,。?

但固體吸附劑的吸附容量小,,需要大量的吸附劑,設(shè)備龐大,,且吸附后吸附劑需要再生處理,,是吸附處理的主要缺點(diǎn)。半導(dǎo)體生產(chǎn)場(chǎng)所揮發(fā)出來(lái)的有機(jī)廢氣通過(guò)局部排風(fēng)罩收集,,經(jīng)管道送至吸附凈化系統(tǒng),。一般采用活性炭作為吸附劑。因?yàn)榛钚蕴渴欠菢O性吸附劑,,對(duì)廢氣中水蒸氣的靈敏度不高,,且價(jià)格便宜。 焚燒的方法也廣泛用于半導(dǎo)體行業(yè)處理各種有機(jī)廢氣,通過(guò)熱氧化將有機(jī)物轉(zhuǎn)化為 CO2 和水,。同時(shí),,焚燒對(duì)處理穩(wěn)定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法。在熱氧化中,,有機(jī)廢氣流經(jīng)過(guò)加熱,,氣相中的有機(jī)物被氧化。為節(jié)省燃料使用,,通常還使用熱交換器,,回收焚燒產(chǎn)生的熱量對(duì)進(jìn)口氣體進(jìn)行預(yù)熱。對(duì)于處理大流量,、低濃度的氣體,,通常都要采用這種方法。 由于半導(dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會(huì)產(chǎn)生SiO2,,且SiO2會(huì)使催化劑鈍化,,因此半導(dǎo)體行業(yè)中很少采用接觸氧化的方法。

一些半導(dǎo)體生產(chǎn)廠也使用旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)富集有機(jī)廢氣,,如沸石濃縮轉(zhuǎn)輪,。因?yàn)榘雽?dǎo)體工藝過(guò)程中有機(jī)廢氣具有排放流量大(通常大于 11039 m3 /小時(shí))和濃度低(通常小于 25ppmv) 的特點(diǎn),使用其它的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率,。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪使用內(nèi)帶吸收物質(zhì)的旋轉(zhuǎn)輪,,其中的吸收物質(zhì)部分曝露于廢氣流中。轉(zhuǎn)輪吸收廢氣中的揮發(fā)性污染物,,并使用蒸汽或熱將其脫附,。脫附的氣流中富集了較高濃度的揮發(fā)物,這種低流量,、高濃度的氣流能很好地被氧化,。旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的一個(gè)缺點(diǎn)是它對(duì)甲醇親和力較差,去除率僅為 40-60%,。

總而言之,廢氣治理方面,,半導(dǎo)體行業(yè)酸,、堿廢氣一般采用相應(yīng)的堿液吸收和酸液吸收進(jìn)行處理,工藝方法已非常成熟,,只要適當(dāng)優(yōu)化相關(guān)工藝參數(shù),,能夠滿足本標(biāo)準(zhǔn)的要求,需要關(guān)注的有機(jī)廢氣的處理,。目前處理有機(jī)廢氣的工藝有吸附法,、吸收法、直接燃燒法、催化燃燒法,、冷凝法等,,吸附法采用活性炭直接吸附,凈化效果好,,但是運(yùn)營(yíng)成本會(huì)很高,;吸收法適合于溫度低、中高濃度的廢氣,;直接燃燒法適合于高濃度,、小風(fēng)量廢氣治理;冷凝法適用于成分相對(duì)單一,、濃度高,、且有一定回收價(jià)值的有機(jī)廢氣。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)低濃度,、大風(fēng)量,、成分復(fù)雜的有機(jī)廢氣,吸附法,、吸收法,、燃燒法、冷凝法均不適用,,比較適用的是吸附——催化燃燒法,。目前省內(nèi)一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪濃縮后燃燒,該方法適用于大風(fēng)量,、低濃度,、常溫的有機(jī)廢氣處理,凈化效率達(dá)到90%以上,,濃縮比達(dá)20﹕1,,運(yùn)行費(fèi)用較低,設(shè)備處理風(fēng)量大,,占地面積小,,不產(chǎn)生二次污染,可持續(xù)脫附并處理污染物,。根據(jù)企業(yè)實(shí)際運(yùn)行情況,,有機(jī)廢氣進(jìn)氣濃度在200mg/m3以上時(shí),處理效率達(dá)到95%,;200mg/m3以下時(shí)處理 后濃度控制在20mg/m3,,可保證廢氣達(dá)標(biāo)排放。

內(nèi)容參考江蘇省生態(tài)環(huán)境廳相關(guān)文件